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EBSD，全稱電子背散射衍射，主要特點是在保留掃描電子顯微鏡的常規(guī)特點的同時進行空間分辨率亞微米級的衍射，給出結(jié)晶學的數(shù)據(jù)。

例1

20kV條件下得到的碳化鎢/鈷樣品的EBSD結(jié)果

PCB板上的焊球SEM-EBSD測試

原位觀察低碳鋼中γ→α的相變

Al合金原位EBSD的應力應變數(shù)據(jù)

例2 采用共軸TKD技術測試了納米孿晶銅的納米片層結(jié)構，并且分辨出了2nm尺度的孿晶片層結(jié)構

納米孿晶銅的孿晶結(jié)構PQ圖與IPFX疊加顯示以及圖中線段處角度分布圖